[21p-H137-1~22] 7.2 電子ビーム応用

[21p-H137-8] Ptychographcal phase retrievalの実像による拘束

〇三石 和貴¹、下条 雅幸²、竹口 雅樹¹ (1.物材機構、2.芝工大)

キーワード：電子顕微鏡法、Ptychography、位相回復

Ptychographcal iterative phase retrievalは、回折顕微法（Diffractive imaging）の一種であり、条件の異なる回折像のセットから反復的に位相を回復する手法である。 本研究では、電子顕微鏡を用いた場合、走査透過環状暗視野法（ADF-STEM）などにより実像を得ることが可能であるため、この像を反復的に位相回復する際の拘束条件の一つとして用いる事により、Ptychographcal phase retrievalのアーティファクトの低減や収束性の向上を目的とする。