[21p-H137-1~22] 7.2 電子ビーム応用

[21p-H137-9] 円環・円孔電極を用いた電界型Csコレクタの開発（３）

〇川崎 忠寛^1,2、髙井 康行³、小川 雄紀³、石田 高史²、児玉 哲司³、富田 正弘⁴、松谷 貴臣⁵、生田 孝⁶ (1.JFCC、2.名大IMaSS、3.名城大院理工、4.真空デバイス、5.近大理工、6.大阪電通大工)

キーワード：収差補正、電子顕微鏡、色収差

電子顕微鏡など種々の荷電粒子光学系において分解能を制限してきたのは主に対物レンズの球面収差である。我々はこれを補正するため、静電場を利用した新しい補正器を開発している。本装置は、2枚の電極間に電圧を印加するだけのシンプルな構造で、従来の多極子タイプの補正器と比較して、圧倒的に安価、簡便に電子顕微鏡などの高分解能化が実現できる。今回は、理論計算による詳細な追検討の結果について発表する。