[21p-P10-1~24] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[21p-P10-11] Si/6H-SiC貼り合わせ界面における漏れ電流伝導機構

〇袖岡 大輝¹、木下 博之¹、石田 秀俊¹、吉本 昌広¹ (1.京都工繊大)

キーワード：貼り合わせ