[21p-P11-1~11] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[21p-P11-3] Si単結晶中の点欠陥形成に与えるドーパントの影響

〇小林 弘治¹、山岡 俊太¹、末岡 浩治¹、ファンヘレモント イアン² (1.岡山県大、2.ゲント大)

キーワード：点欠陥、シリコン、ドーパント