[21p-P11-1~11] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[21p-P11-5] C₃H₅クラスターイオン注入により形成されるゲッタリングサイトとその安定性

白澤 渉¹、〇末岡 浩治¹ (1.岡山県大院情報系工)

キーワード：ゲッタリング、C3H5クラスターイオン注入、シリコン