[21p-P17-1~26] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[21p-P17-13] プラズモニック吸収体を用いた波長選択型非冷却赤外線センサ：不要吸収モードの除去

〇久保山 貴文¹、高川 陽輔¹、小川 新平²、藤澤 大介²、木股 雅章¹ (1.立命館大学、2.三菱電機株式会社)

キーワード：赤外線センサ、プラズモン

周期構造をもったプラズモニック吸収体を非冷却赤外線センサの受光部に導入することで、波長検知が可能な波長選択型赤外線センサを開発した。波長選択型非冷却赤外線センサは、吸収体以外の不要な赤外線吸収が長波長域での課題であった。今回、不要な吸収の影響を除去することを目的として、差分動作を実現するセンサ構造を提案する。