[21p-S223-1~17] 13.2 Exploratory Materials, Physical Properties, Devices

[21p-S223-4] Surface treatment and characterizations of Na doped type II clathrate films

〇Nanto Sugii¹, Hiroyuki Manjo¹, Tetsuya Mukai¹, Kazushi Sone¹, Fumitaka Ohashi¹, Tamio Iida², Tetsuji Kume¹, Himanshu Shekhar Jha¹, Shuichi Nonomura¹ (1.Gifu univ., 2.NIT Gifu)

Keywords:clathrate,germanium

これまでに我々はGe基板上や透明基板上におけるNa_xGe₁₃₆膜の合成について報告した。しかし、作製した膜の表面にはNaの化合物である不純物が存在しており、電子物性評価およびデバイス化のためには、表面不純物除去技術の確立が必要不可欠である。本研究では表面不純物除去を目的として様々な表面処理を行うとともに、物性評価を行った。