[22a-H116-1~6] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

△ [22a-H116-2] ナノファセットを持つサファイアm面基板上ZnTe薄膜の成長過程解析

〇中須 大蔵¹、服部 翔太¹、木津 健¹、橋本 勇輝¹、孫 惟哲¹、風見 蕗乃¹、王 兢¹、山本 洋輔¹、玉川 陽菜¹、小高 圭佑¹、小林 正和^1,2、朝日 聡明³ (1.早大先進理工、2.早大材研、3.JX金属)

キーワード：ZnTe、サファイア、ナノファセット構造

ZnTeを用いたテラヘルツ波検出素子応用に向け、サファイア基板/ZnTe薄膜構造に注目している。m面を熱処理することで現れるr面{1-102}とS面{10-11}からなるナノファセット基板上にZnTe薄膜を作製し、その成長過程の解析を行った。更にX線回折の極点図法を使い、ナノファセットの方位とZnTeの成長方位の関連性を詳細に評価した結果、ナノファセットのS面がm面ナノファセット基板上のZnTe薄膜の結晶方位に影響を与えていることが明らかになった。