[22a-P5-1~18] 6.4 薄膜新材料

[22a-P5-13] RFスパッタ法を用いたIGZO薄膜の作製とTFT応用

〇(B)高橋 崇典¹、門脇 圭佑¹、佐藤 智也¹、井上 貴明¹、熊谷 佳郎¹、宝賀 剛¹、内山 潔¹ (1.鶴岡高専)

キーワード：薄膜トランジスタ