[22a-P5-1~18] 6.4 薄膜新材料

[22a-P5-14] スパッタリングを用いて作製したMn添加ZnO薄膜の評価

〇箕輪 直輝¹、那須 菜穂¹、張 宇¹、趙 新為¹ (1.東理大理)

キーワード：希薄磁性半導体