[22a-P5-1~18] 6.4 薄膜新材料

[22a-P5-16] 非熱平衡二次元プラズマを利用した酸化スズ薄膜の形成

〇堀水 懸登¹、金指 翔大¹、増田 優貴¹、奥谷 昌之^1,2 (1.静岡大院工、2.静岡大グリーン研)

キーワード：プラズマ、沿面放電、SnO2

透明導電膜はタッチパネルや太陽電池に用いられており、近年のエレクトロニクス産業に欠かせない製品である。本研究グループでは、製膜コストの低減や装置の簡便化を目的として沿面放電により生じる非平衡二次元プラズマに焦点を当て、これまでにZnOの製膜を報告した。前回の本会において、この技術を新規にSnO₂の製膜へ応用した結果を報告したが、不純物相の残存が課題となった。そこで、今回は新規の前駆体を導入するとともに、雰囲気によりプラズマ活性種を制御し、SnO₂相の単相化を目指した。