[22a-W541-1~10] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

△ [22a-W541-8] 高圧水蒸気処理を施したSiO2/GaN縦型MOSキャパシタの電気的特性評価

〇冨永 雄太¹、上野 勝典²、吉嗣 晃冶¹、多田 雄貴¹、石河 泰明¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大、2.富士電機)

キーワード：窒化ガリウム