[22p-H103-1~8] 6.4 薄膜新材料

[22p-H103-2] 強磁場スパッタ法によるマンガン窒化物薄膜の作製

〇松本 利希¹、川口 昂彦¹、畑野 敬史¹、原田 俊太¹、飯田 和昌¹、宇治原 徹¹、生田 博志¹ (1.名大工)

キーワード：スパッタ、窒化物薄膜、逆ペロブスカイト