[22p-H103-1~8] 6.4 薄膜新材料

[22p-H103-3] ガルバノ走査型PLD装置の開発とターゲットの打ち分けによる2元組成薄膜の高速成膜

〇丸山 伸伍¹、山王堂 尚輝¹、原田 龍馬¹、松本 祐司¹ (1.東北大院工)

キーワード：パルスレーザ堆積、ガルバノミラー走査