09:30 〜 11:30 [6a-PA8-3] 低エネルギー有機ケイ素イオンビームの生成とSiC等成膜への応用 〇吉村 智1、杉本 敏司1、竹内 孝江3、木内 正人1,2 (1.阪大工、2.産総研、3.奈良女大)