13:45 〜 14:00 △ [5p-C11-1] 結晶化高温アニールによる原子層堆積法Al2O3膜バイアス安定性の向上 〇(B)堀川 清貴1、大久保 智1、蔭浦 泰資1、平岩 篤2,3,4、川原田 洋1,2,3 (1.早大理工、2.材研、3.NTRC、4.名大未来研)