11:00 〜 11:15 [5a-C11-8] 有機金属錯体化反応を活用した酸化ランタンの熱ドライエッチング 〇山口 欣秀1、篠田 和典1、高妻 豊2、酒井 哲2、伊澤 勝2 (1.日立研開、2.日立ハイテク)