15:15 〜 15:30 [7p-A204-8] 二元同時スパッタ法による強誘電性HfxZr1-xO2/Siヘテロ構造の作製 〇高田 賢志1、鎌田 大輝1、金屋 良輔1、桐谷 乃輔1、吉村 武1、藤村 紀文1 (1.阪府大院工)