10:30 〜 10:45 [5a-A301-6] THzエリプソメトリーによるInN薄膜の電気特性評価 〇森野 健太1、藤井 高志1,3、毛利 真一郎1、荒木 努1、名西 憓之1、長島 健2、岩本 敏志3、佐藤 幸徳3 (1.立命館大理工、2.摂南大、3.日邦プレシジョン)