14:45 〜 15:00
〇須藤 治生1、青木 竜彦1、前田 進1、岡村 秀幸1、中村 浩三3、末岡 浩治2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.岡山県大 情報工、3.岡山県大 地域共同研究機構)
須藤 治生
発表者・著者、共著者
2017年9月5日(火) 13:30 〜 17:45 A204 (204)
- シンポジウム(口頭講演)
- | シンポジウム
- | シリコン結晶における不純物制御の科学 ～ゲッタリングが描くウェーハの未来像～
2017年9月5日(火) 13:30 〜 17:45 A204 (204)
14:45 〜 15:00
〇須藤 治生1、青木 竜彦1、前田 進1、岡村 秀幸1、中村 浩三3、末岡 浩治2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.岡山県大 情報工、3.岡山県大 地域共同研究機構)