奥山亮輔

→ Google ScholarでRyosuke Okuyamaを検索

発表者・著者、共著者

2017年9月6日(水) 09:00 〜 12:30 A503 (503)

一般セッション(口頭講演)
| 15 結晶工学
| 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[6a-A503-1~13] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

09:15 〜 09:30

[6a-A503-2] 分子クラスターイオン注入エピウェーハの製品特性（１）
-注入領域における水素の脱離・吸着挙動の解析-

〇奥山亮輔¹、柾田亜由美¹、重松理史¹、廣瀬諒¹、門野武¹、古賀祥泰¹、奥田秀彦¹、栗田一成¹ (1.SUMCO)