09:45 〜 10:00 [6a-C17-3] Ti/Al電極を用いたSi注入GaNの低コンタクト抵抗化とアニール後の電極構造分析 〇西村 智朗1、葛西 武2、三島 友義1、栗山 一男1、中村 徹1 (1.法政大、2.ケミトロニクス)