11:15 〜 11:30 [6a-C21-9] LSI配線におけるZn添加によるCu/SiO2間の相互拡散バリア性の評価 〇(M2)城戸 光一1、安藤 大輔1、須藤 祐司1、小池 淳一1 (1.東北大工)