18:00 〜 18:15 [6p-A301-13] RFスパッタ法による金属配向膜上への窒化ガリウム系圧電薄膜の作製と元素添加による圧電性能の飛躍的な向上 〇上原 雅人1,3、水野 孝昭2、長瀬 智美1、會田 康弘2、重本 北斗3、田中 早紀3、山田 浩志1,3、秋山 守人1 (1.産総研、2.村田製作所、3.九大総理工)