16:45 〜 17:00 △ [6p-A412-13] 高電界>4×105V/cm下でのALD-Al2O3 2DHGダイヤモンドMOSFETの遮断周波数の向上 〇(B)今西 祥一朗1、大井 信敬1、工藤 拓也1、大久保 智1、堀川 清貴1、平岩 篤1、川原田 洋1,2 (1.早大理工、2.材研)