16:00 〜 16:15
〇三浦 典子1,2、相澤 洸2、居村 史人1,3、山田 武史2、野川 満徳2、大西 康弘2、石島 達夫4、鈴木 宏明4、島田 大伸4、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.ミニマルファブ推進機構、2.米倉製作所、3.産総研、4.金沢大学)
三浦 典子
発表者・著者、共著者
2017年9月6日(水) 13:45 〜 19:00 C21 (C21)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術