16:30 〜 16:45 △ [6p-C21-11] ミニマルファブプロセスによるダイヤモンドSAWデバイスの作製 〇亀濱 博紀1、藤井 知1,2、遠江 栄希3 (1.沖縄高専、2.東工大、3.横河ソリューションサービス)