17:45 〜 18:00
〇吉岡 昌男1、田中 洋輔1、入田 亮一1、吉田 真也1、梅山 規男2,3、クンプアン ソマワン2,3、原 史朗2,3 (1.ピーエムティー、2.産総研、3.ミニマルファブ推進機構)
吉岡 昌男
発表者・著者、共著者
2017年9月6日(水) 13:45 〜 19:00 C21 (C21)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2017年9月6日(水) 13:45 〜 19:00 C21 (C21)
17:45 〜 18:00
〇吉岡 昌男1、田中 洋輔1、入田 亮一1、吉田 真也1、梅山 規男2,3、クンプアン ソマワン2,3、原 史朗2,3 (1.ピーエムティー、2.産総研、3.ミニマルファブ推進機構)