09:30 〜 09:45 △ [7a-A402-3] He+イオン照射により前処理されたZnOエッチング機構の解明 〇李 虎1、伊藤 智子1、唐橋 一浩1、深沢 正永2、平田 瑛子2、長畑 和典2、辰巳 哲也2、浜口 智志1 (1.阪大院工、2.ソニー)