13:15 〜 13:30 [7p-A204-1] ドーパント添加ZrO2エピタキシャル薄膜の結晶構造と電気特性調査 〇崔 ス珍1、白石 貴久1、木口 賢紀1、清水 荘雄2、舟窪 浩2、今野 豊彦1 (1.東北大、2.東工大)