15:30 〜 15:45 [7p-A204-9] (001)Si基板上にエピタキシャル成長したHfO2系絶縁膜への常圧プラズマ照射効果 〇鎌田 大輝1、高田 賢志1、桐谷 乃輔1、吉村 武1、芦田 淳1、藤村 紀文1 (1.阪府大工)