13:30 〜 15:30 △ [7p-PA3-5] マグネトロンスパッタ型イオン源から引き出される窒化アルミニウムイオンへのメモリー効果 〇吉岡 健太郎1、剣持 貴弘2、和田 元1 (1.同志社大理工、2.同志社大生命医科)