09:30 〜 11:30 [8a-PA1-3] ARXPSによるsoft-ICP エッチングプロセスがダイヤモンド半導体表面に与える影響 〇(M2)滝沢 耕平1、加藤 有香子2、牧野 俊晴2、山崎 聡2、野平 博司1 (1.東京都市大院、2.産総研)