09:30 〜 11:30 [8a-PA4-21] ミストCVD法によるε-In2xGa2-2xO3混晶薄膜の成長 〇宮内 信宇1、田原 大祐1、森本 尚太1、西中 浩之1、吉本 昌広1 (1.京工繊大)