09:30 〜 11:30 [8a-PB4-16] PFC凝縮層へのプラズマ照射によるa-C:F形成とPTFE表面改質 〇佐藤 哲也1、山井 孝太1、森川 恭兵1、曽我 遥華1、山本 千綾1、山中 淳二1、中川 清和1 (1.山梨大工)