09:30 〜 11:30 [8a-PB4-5] カーボンターゲットを用いたハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリング中の粒子の挙動 〇(M1)伊賀 一憲1、太田 貴之1、小田 昭紀2、上坂 裕之3 (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)