13:30 〜 15:30 [8p-PA1-4] Al-doped ZnO 薄膜の低温成長におけるマグネトロン磁場強度の影響 〇(M2)譲原 一樹1、佐藤 賢太1、星野 寛明1、沖村 邦雄1、安森 偉郎2 (1.東海大院工、2.東海大学教開研セ)