13:30 〜 15:30
〇大西 脩平1、崔 容俊1、石田 誠1、澤田 和明1、石井 仁1、町田 克之2、益 一哉2、二階堂 靖彦3、齋藤 光正3、吉田 眞一4 (1.豊橋技科大、2.東工大、3.産業医科大、4.福岡聖恵病院)
大西 脩平
発表者・著者、共著者
2017年9月8日(金) 13:30 〜 15:30 PA2 (国際センター1F)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2017年9月8日(金) 13:30 〜 15:30 PA2 (国際センター1F)
13:30 〜 15:30
〇大西 脩平1、崔 容俊1、石田 誠1、澤田 和明1、石井 仁1、町田 克之2、益 一哉2、二階堂 靖彦3、齋藤 光正3、吉田 眞一4 (1.豊橋技科大、2.東工大、3.産業医科大、4.福岡聖恵病院)