仮屋崎弘昭

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座長等

2017年9月5日(火) 13:30 〜 17:45 A204 (204)

シンポジウム(口頭講演)
| シンポジウム
| シリコン結晶における不純物制御の科学～ゲッタリングが描くウェーハの未来像～

[5p-A204-1~9] シリコン結晶における不純物制御の科学～ゲッタリングが描くウェーハの未来像～

小野敏昭(SUMCO)、仮屋崎弘昭(ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙｳｪｰﾊｽﾞ･ｼﾞｬﾊﾟﾝ)

2017年9月6日(水) 13:45 〜 17:00 A503 (503)

一般セッション(口頭講演)
| 15 結晶工学
| 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[6p-A503-1~12] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

大野裕(東北大)、仮屋崎弘昭(ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙｳｪｰﾊｽﾞ･ｼﾞｬﾊﾟﾝ)、中川聰子(ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙｳｪｰﾊｽﾞ･ｼﾞｬﾊﾟﾝ)