小野敏昭

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座長等

2017年9月5日(火) 13:30 〜 17:45 A204 (204)

シンポジウム(口頭講演)
| シンポジウム
| シリコン結晶における不純物制御の科学～ゲッタリングが描くウェーハの未来像～

[5p-A204-1~9] シリコン結晶における不純物制御の科学～ゲッタリングが描くウェーハの未来像～

小野敏昭(SUMCO)、仮屋崎弘昭(ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙｳｪｰﾊｽﾞ･ｼﾞｬﾊﾟﾝ)