2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池

[5a-A204-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

2017年9月5日(火) 09:00 〜 12:00 A204 (204)

白澤 勝彦(産総研)

09:30 〜 09:45

[5a-A204-3] 円筒型回転ステージを用いたフレキシブルガラス基板上アモルファスシリコン膜の窒素ブースト大気圧プラズマジェット照射による連続結晶成長

中野 航1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大院先端研)

キーワード:大気圧熱プラズマジェット