[5a-S44-1~11] 【CS.9】7.1 & 7.4 Code-sharing session

[5a-S44-2] Removal of Carbon Contamination on a Ni-coated Mirror Using Atomic Hydrogen

〇Masahito Niibe¹, Tetsuo Harada¹, Akira Heya², Takeo Watanabe¹, Naoto Matsuo² (1.LASTI, Univ. Hyogo, 2.Eng. Univ. Hyogo)

Keywords:Soft X-ray mirror, Contamination cleaning, Atomic hydrogen

原子状水素の照射（AHA処理）により、放射光ビームライン用ミラー上の炭素汚染を除去し、その処理前後での反射率等を評価した。汚染物の厚みは光干渉膜厚計で測定して、最大箇所で10 nmであったが、1 hrの原子状水素照射によって、目視で僅かに痕跡が見える程度に汚染物を除去できた。今回の処理では、沈着した汚染物が、最大1 nm程度残っていたが、汚染物が厚く堆積した領域でも、反射率を10 → 70 %程度まで回復することができた。