[5a-S44-1~11] 【CS.9】7.1 X線技術と7.4 量子ビーム界面構造計測のコードシェアセッション

[5a-S44-5] ボロンK発光分光計測のための酸化物膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子

〇小池 雅人¹、羽多野 忠²、アレキサンダー ピロジコフ¹、寺内 正己²、浮田 龍一³、西原 弘晃³、笹井 浩行³、長野 哲也³ (1.量研量子ビーム、2.東北大多元研、3.島津デバイス)

キーワード：軟X線、回折格子、多層膜

表面物質がNiである軟X線回折格子表面上にTiO₂（CeO₂） を堆積しB-K 発光で回折効率が極大となる膜厚と入射角を探索し、膜厚22.0 nm（30.2 nm）及び入射角85.262°、（84.496°）を得た。放射光を用いて測定した結果、従来のNi回折格子を入射角87.070°で用いる場合に対して、受光立体角の増加も考慮した場合、光量が2.4倍(TiO₂)、3.8倍(CeO₂)に増加した。