[5p-A301-1~19] 15.4 III-V-group nitride crystals

[5p-A301-19] High WPE (9.6%) AlGaN deep-UV LED using transparent contact layer and lens

〇Hideki Hirayama¹, Yukio Kashima^1,2, Eriko Matsuura^1,2, Hideki Takagi³, Noritoshi Maeda¹, Masafumi Jo¹, Takeshi Iwai⁴, Toshiro Morita⁴, Mitsunori Kokubo⁵, Takaharu Tashiro⁵, Ryuichiro Kamimura⁶, Yamato Osada⁶ (1.RIKEN, 2.Marubun, 3.AIST, 4.Tokyo Ohka Kogyo, 5.Toshiba Machine, 6.ULVAC)

Keywords:deep-UV LED, AlGaN, WPE

AlGaN深紫外LEDは、殺菌、浄水、空気浄化、皮膚治療、樹脂加工、印刷、コーテイングなど幅広い応用分野への普及が期待されている。今回我々は、AlGaN深紫外LEDに透明コンタクト層と高反射電極を導入し、さらにフリップチップ（FC）にレンズを張り付けることにより、高い電力変換効率（WPE=9.6%）を実現したので報告する。