[5p-C21-1~13] 15.3 III-V-group epitaxial crystals, Fundamentals of epitaxy

[5p-C21-6] AlAs/GaAs distributed Bragg reflector grown on concaved GaAs substrate

〇Kouichi Akahane¹, Tetsuya Ido¹, Kazuto Mochizuki², Naokatsu Yamamoto¹ (1.NICT, 2.UEC)

Keywords:distributed Bragg reflector, molecular beam epitaxy

本研究では化合物半導体による分布ブラッグ反射鏡を自由空間共振器に使えるようにするため、凹面基板上へ結晶成長による分布ブラック反射鏡形成を試みたのでこれを報告する。