[5p-C21-1~13] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

[5p-C21-6] 凹面GaAs基板上へのAlAs/GaAs分布ブラック反射鏡の成長

〇赤羽 浩一¹、井戸 哲也¹、望月 和人²、山本 直克¹ (1.情通機構、2.電通大)

キーワード：分布ブラック反射鏡、分子線エピタキシー

本研究では化合物半導体による分布ブラッグ反射鏡を自由空間共振器に使えるようにするため、凹面基板上へ結晶成長による分布ブラック反射鏡形成を試みたのでこれを報告する。