[5p-PB3-1~26] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[5p-PB3-16] Surface passivation effect of alumina thin films prepared by spin coating method

Ryo Ito¹, Satoshi Matsuoka¹, Daiki Misawa¹, 〇Ryosuke Watanabe², Yoji Saito¹ (1.Seikei Univ., 2.Hirosaki Univ.)

Keywords:Silicon Solar Cells, Surface Passivation, Sol-gel method

これまで我々は、p 型Si 基板でのパッシベーション膜として期待されるアルミナ膜を、
より簡便なプロセスとして、ゾルゲル法により作製し評価を行ってきた。ゾルゲル法で
は、一般的に焼成処理が必要であるが、成膜条件によってアルミナ膜を作製してから時間
が経過すると少数キャリアライフタイムの低下が見られた。今回は焼成条件の検討を行い、
アルミナ膜を複数回スピンコートし、形成したところ、仮焼成温度によってこれまでより
も高いパッシベーション効果が得られた。今回は、この詳細について報告する。