[5p-S42-1~15] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[5p-S42-11] ナノインプリントリソグラフィにおける歪みの検討

〇渡辺 謙太¹、飯田 達矢¹、川田 博昭¹、安田 雅昭¹、平井 義彦¹ (1.大阪府立大 院　工)

キーワード：ナノインプリントリソグラフィ