[5p-S42-1~15] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[5p-S42-14] 非球面レンズ上への反射防止構造の形成

〇真野 一朗¹、谷口 淳¹ (1.東理大基礎工)

キーワード：反射防止構造、非球面レンズ、ナノインプリントリソグラフィー

ガラス表面での光の反射によって光学レンズ性能が妨げられてしまうことがある。そこで、本研究では非球面凸レンズの反対の型である非球面凹レンズに反射防止構造を形成し、凹凸の型を合わせることで非球面凸レンズ上に反射防止構造を形成することに成功した。さらに、レンズ部分だけでなく転写が難しい淵部分にも反射防止構造が得られた。また、反射率は0.4%台まで抑制することができ、本プロセスは光学素子の性能向上に期待できる。