[5p-S42-1~15] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[5p-S42-4] 軟Ｘ線CMOS イメージセンサの特性評価

〇原田 哲男¹、中谷 侑亮¹、寺西 信一¹、渡邊 健夫¹ (1.兵県大)

キーワード：軟Ｘ線、CMOSイメージセンサ

本研究では、最近開発された科学計測用の裏面照射CMOS イメージセンサ（GSENSE400BSI Gpixel）の軟Ｘ線特性を兵庫県立大学の放射光施設ニュースバルにて評価した。（センササイズ 22.5 mm□、ピクセルサイズ11 μm□、2048 x 2048 ピクセル、フレームレート 48 fps、Full well charge >89 ke^-、実測読み出しノイズ 2 e^-rms)